電子顯微鏡的物鏡、中間鏡及投影鏡-分辨率與波長
物鏡、中間鏡及投影鏡統稱為成像系統。較近的電子顯微鏡也有四
級、五級透鏡的，但是基本形式是這種三級透鏡，其他的透鏡是以
像差，放大倍數等輔助措施為目的的。
試樣室
試樣室安裝有氣鎖機構，以便將試樣放入真空中。較近的裝置
中，為了更快地進行試樣的更換，也有能放置6～8個試樣的試樣室
，可以自由地選擇試樣進行觀察。試樣室中重要的是試樣的微調裝
置。電子顯微鏡的分辨率為l埃，拍攝這樣高分辨率的照片時的曝
光時間需要10秒以上。也就是說，必須有一個先決條件，開動試樣
微調裝置時，平穩起動后停止，在10秒鐘內連l埃的移動都不允許
。這與透鏡的像散一樣．是一種十分重要的機構。拆開試樣室清洗
時也應該注意到這一點。
上述的是過去類型的試樣室。稱為頂裝式的試樣室。較近使用
的從物鏡磁極的橫方向將試樣插入的側裝式。這種型式的試樣宣對
于X射線分析是必需的。也就是說，為了進行幾百埃的微區X射線分
析，必須把電子束縮小到與它相同的尺寸。這種方法，僅加強上述
的第一會聚鏡的激磁是不夠的，而是要加強物鏡激磁+并將其前磁
場作為第三會聚鏡使用。因此試樣的位置必然靠近物鏡中心的部份
，而側裝的試樣室，便能把試樣置于滿足這種條件的位置上。
分辨率
光學顯微鏡的透鏡中有各種像散，它是用幾組玻璃透鏡組合的
方法來修正這種像散的。然而。較后決定分辨率的是受光的波長所
限制的衍射像散。把光學顯微鏡下可分辨的兩點間的較小距離定義
為分辨率
