可用于電鏡測定使化學分析和顆粒大小和表面特征
可以用于電鏡測定使化學分析和顆粒大小分
析可同時進行。掃描電子顯微鏡(SEM)
掃描電子顯微鏡是一細束具有中等能量(5—50kev)的電子在一系列
軌跡上掃描試樣。這些電子與試樣相互作用產生二次電子放射(SEE)，
反射電子光(BSE)或陰極射線致發光和X射線等信號。這些信號中的每
一種都可被檢測出來，并如電視圖象一樣在陰極射線管的屏幕上顯示出
來。一般都用屏幕的照象記錄進行觀察。與TEM比較，SEM要快得多，而
且得到更多的三維空間細節
為測定表面特征和顆粒的厚度，常將一重金屬膜傾斜地沉積在標本
上或其復制光柵樣上。為了使接近于平行的光束可以達到標本上，可利
用低能源高真空將金屬沉積下來。
化學分析
當顆粒被電子轟擊后其輻射取決于化學成分。 用單色或多色輻射
或電子束來進行研究。這是一種一個電子從內層軌道發射出的二次電子
過程，留下的空位被落入空位層的電子所填充，這就為放射另一個電子
提供了能量。Auger電子的能量是分子所具有的特征。用真空紫外技術
對金屬表面進行了很多研究，從得到的能量分布曲線(EDCs)給出各種金
屬譜段的資料。軟X射線的應用就是化學分析的電子光譜法(ESCA)。X—
射線除能從價電軌道上放射電子外，還能有足夠能量從某些內層軌道放
射出電子。這是屬于由原子性質而產生的能譜，是有關原子的特征而不
是一部分由該原子所組成的分子的特征
