電鏡分辨率較高和景深大約為光學顯微鏡10倍
作為現代顯微分析儀器的主要手段．掃描電鏡可以以較高的分辨率
(0.4～3nm)和大的景深(約為光學顯微鏡的10倍)清楚地顯示材料
的表面和斷面信息、提供材料的優劣原因等，廣泛應用于諸多領域
．并日益受到人們的重視。
掃描電鏡特點
掃描電鏡 具有操作簡便且得到的顯微結構信息直觀的特
點．成為目前材料微區顯微結構觀察和成分分析較常見的工具。
掃描電鏡的主要特點如下：
(1)圖像分辨率高、放大倍率大。目前掃描電鏡的分辨率為
3～O．4 nm．相對應較大有效放大倍率可達10萬～150萬。
(2)景深大。一般情況下．掃描電鏡的景深是透射電鏡的10
倍，是光學顯微鏡的100倍，特別適合觀察一些粗糙不平的斷門。
(3)無損分析。對大部分材料，只要尺寸能夠放人樣品室的話，
就可采用合適的條件。無須對試樣進行任何處理，直接進行觀察
分析。
(4)試樣制備簡單。試樣可以是自然表面、斷口、塊體、反光
掃描電鏡的發展簡史
掃描電鏡的基本原理由Knoll于20世紀30年代提出。隨后Arden
ne于1938年通過理論計算和實驗對磁透鏡系統進行了改進，從而能
夠縮小電子束斑直徑以得到更高的分辨率。Ardenne的實驗裝置實
際上是掃描透射電鏡(scaming transmission electronmicroscopy
．STEM)，既允許電子穿透薄樣品直接在膠卷上成像．同時也可以
通過收集二次電子與背散射電子信號通過陰極射線管成像。
