光電子能譜化學分析技術原理是依據光電效應現象
微探針分析技術
表面成分和原子狀態分析的樣品里，被分析的體積是一個立方微米
。數量級時，稱為顯微分析。微區分析通常采用一定能量的一次束，如
電子，離子，光子和中性粒子(原子或分子)，作為微探針去激發固體樣
品，結果產生反映樣品表面特性的二次束，對二次束進行能譜或質譜分
析，即獲得有關表面的元素組成、原子體狀態等信息。
從特征X射線分析物質中元素，有兩種方法——波譜分析法和能譜
分析法。波譜分析法是利用晶體對某特征X射線發生衛射的條件來鑒定
特征X射線的波長。能譜分析法是測量X射線光量子的能量來確定在激發
體積中物質包含什么元素。
光電子能譜化學分析技術
在表面分析工作中，有時需要狀態分析，即分析原子間化學的結合
狀態、電子束縛能，電荷分布和電子狀態等。這些信息對研究表面化學
反應、表面吸附和催化，以及表面的氧化和腐蝕等都是十分重要的。光
和物質相互作用所產生的光電效應，光電子動能和各級電子的結合能有
關，所以應用光電子能譜法進行表面化學狀態分析較為有效。
光電子能譜化學分析技術(ESCA)的原理是依據光電效應現象。當用
單色光照射晶體固體表面時，會把固體表面中電子打出，這種現象稱為
光電效應，所打出的電子稱為光電子
