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待測樣品氧化膜截面測定厚度專業圖像顯微鏡




來源:yiyi
時間:2015-8-21 13:01:58

待測樣品氧化膜截面測定厚度專業圖像顯微鏡

顯微鏡法是測定的參考方法,它是用刻度光學系統來觀
察垂直于待測表面的顯微磨片。為了得到合適的截面,試片

要塑鑄在低熔點合金或聚苯乙烯或丙烯酸樹脂糊里。測量應
當在均勻分布的幾個部位上進行,并應當取讀數的算術平均
值作為測定的結果。精度是±0.5微米。

    測定厚度的分束顯微鏡法是發射出一束光到陽極氧化的
表面上。一部分光束從陽極氧化膜的表面反射回來,而另一

部分則穿透膜層,從基體金屬表面反射回來。在顯微鏡的目
鏡里,觀察到分離的兩個明顯圖象的距離與陽極氧化膜的厚
度成正比,校準顯微鏡能直接給出讀數。這種方法僅能用于
平表面產生的透明無色膜上。


測量精度為±2微米一干涉法是觀察在特殊顯微鏡目鏡里形成
的干擾線。

本方法僅能用于平表面上得到的厚度為l~9微米的透明無色
膜。精度為±1微米

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