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表面的輪廓批量檢測光學式計量工具顯微鏡




來源:yiyi
時間:2015-7-9 13:45:43

表面的輪廓批量檢測光學式計量工具顯微鏡

由于每個表面的微觀不平度太小,難以用肉眼直接觀測,
因此某些放大裝置就成為必要的了.馬上想到的是顯微鏡,
它能清楚地顯示出水平方向的紋理。但我們較感興
趣的是微觀不平度,即峰和谷。由于這些峰和谷是垂直于水
平面的,因而顯微鏡不能顯示出它們的高度.讓我們用一種
假想的簡單的儀器來代替顯微鏡.該儀器有一個杠桿,
一端有一支點,支點附近帶有一個很尖的測頭,該測頭
能如實地描測出要探測的表面紋理。在杠桿另一端(很遠),
能記下放大很多倍數(例如5000倍)的測頭上下移動
距離。被測表面和記錄紙用不變的速度作水平方向移動時,
則假想的儀器將把表面的輪廓記錄下來.如果記錄紙移動的
速度比被測表面移動速度快些,則各個微觀不平度可分離開
來,達到能被人清楚地看見的程度,這樣我們就能探測和比
較各種表面的輪廓了.當然應該記住,為了使之清晰,這
些微觀特點的形狀必須加以夸張地放大

例如批量檢測時,就不方便,會使人疲勞,而且肯定很
費討間。因此我們需要的是一個單一的數字,它將足夠地指出
一些特性上的差別,而這些特性則是影響性能的重要因素。
所有的表面都有復雜的紋理,到目前為止還沒能找到一種方
法,能把輪廓圖形提供的全部信息歸納成一個單一的數字。
可是,我們可以分開來,每次定量一個特性。

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