上光一廠測量表面粗糙度雙光束顯微鏡的原理
燈源，經聚光鏡、
干涉濾光片，再經另一聚光鏡，投射到反光鏡上，再通過孔
徑光闌和視場光闌，經照明聚光鏡投射到分光板上。分光板
把投射在它上面的光束分成兩部分，一部分透過，一部分反
射。從分光，板透過的光束，經補償板被物鏡會聚到其焦面
處的被測表面(即工件測量面)上。然后被該表面反射，重新
通過物鏡和補償板，到分光板。
另一部分光束從分光板反射到物鏡，再到參考鏡(即
標準鏡面)上，由標準鏡面反射后，重新經物鏡到分光板。
兩部分返回的光束相遇后發生干涉，在無窮遠處形成鮮
明的干涉帶。調節可調反光鏡，將它移到目鏡的焦平面上。
于是，通過目鏡就能觀察到干涉帶及被測表面的影象。
儀器照相時，可以把可調反光鏡從光路中移出，光線就
直接在照相反光鏡_卜反射后射向照相物鏡和照相底片。
干涉法
(1)光波干涉原理干涉法就是利用光波干涉原理來
測量表面粗糙度。
雙光束顯微鏡的簡單原理
所謂干涉顯微鏡就是干涉儀和顯微鏡的組合，將被測件與標
準光學鏡面相比較，用光波波長作為尺寸來衡量工件表面微
觀不平度的高度。其原理如下。由光源A發出的光，經透鏡、
光闌和反射鏡射到半透明的分光鏡上，分為二束光線，～束
射向被測工件表面后反射回來，另一束經分光鏡射向參考鏡
而后也反射回來。由于這兩柬光線之間有光程差，相遇時，
便產生光波干涉，形成明暗交替的干涉條紋。著被測表面為
理想表面，則干涉條紋為一組等距平行的干涉帶，若被測表
面有微觀不平度，則形成彎曲的干涉條紋。干涉條紋的彎曲
程度用光波來度量之，從而測得表面粗糙度的參數值．
