顯微鏡測量表面粗糙度的高度范圍為1～0.03微米

測微目鏡讀數法

首先使測微目鏡中十字刻線的水
平線平行于干涉圖樣的方向線，以此方向線為基準線。然后
移動水平線使與取樣長度范圍內的五個較高點及五個較低點
相切，得到相應的10個讀數。

采用
干涉顯微鏡測量時，不與被測表面接觸，故對被測表面不會
破壞。同時這類儀器具有高放大倍率(放大500倍)和高鑒
別率，可以測量表面不平度高度范圍為1～0．03微米
i)光切法和干涉法在測量時都不使用測頭，因此不會
劃傷零件表面；

ii)可以測出被測表面實際輪廓的谷底，測量精度較高
(因不受測頭大小的影響)；

iii)由于測量儀器(即光切顯微鏡和干涉顯微鏡)比
輪廓儀價格便宜，使用較廣泛。  

  缺點。

i)在光學儀器上不能一次測出許多評定參數的參數值I

ii)輪廓儀一次可以測出27種參數及其數值，而光學儀
器則要測量幾次才能得出一個參數值，測量效率低
   
iii)有許多復雜表面無法測量． 

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.xjwdx.com)