SEM電鏡屬于大型精密儀器-倍率和圖像的分辨率較高
SEM屬大型精密儀器，要發揮它的高精密度作用，就須做好調試工作。而SEM的主
要性能指標狀態是動態的，隨著使用時間和條件的變化，性能會有不同程度的降低，因此要
經常調整才能保證較佳的工作狀態。調試主要包括照明系統的對中，燈絲飽和電流的調節，
光學系統的對中和物鏡、消像散的調節。高分辨率的儀器，未必能獲得高分辨率的圖像；只
有精細制作的樣品，才能保證圖像的高質量。
用SEM觀察時要目的明確，并根據樣品的性質和結構特征，選擇合適的加速電壓、
放大倍數、照明強度和灰度指數。生物樣品在高加速電壓下，易產生充放電現象或輻射損
傷，所以不應較長時間觀察或拍照。但加速電壓較高時，電子束能量大，激發的二次電子數
量多，有利于提高圖像的分辨率，降低信噪比和增大反差，有利于高倍率觀察。所以要綜合
考慮，選擇適當的加速電壓。
要保證圖像清晰、信息飽滿，聚焦操作亦是關鍵。事先要熟悉樣品的方位、結構
特征和需放大倍數，使觀察部位一開始就進入視野，節省尋找時間。然后調到比照相所需
數高一二個檔級的倍數，仔細聚焦和調節消像散。聚焦清晰后，立即退回所需照相倍數拍
照，以縮短聚焦時間。對于表面粗糙，凹凸差異很大的樣品，要求有較大的焦深才能使粗
糙程度呈現出來，要選用小的物鏡光闌和大的工作距離。低倍觀察時，視野擴大，要選用
較小的聚光鏡電流，大的物鏡光闌和工作距離。高倍觀察，主要考慮分辨率，則要求束斑
直徑小，聚光鏡電流大，這時輻照區域很小，二次電子信號很弱，因此要采取較長的曝光
時間拍照。
