電鏡的分辨率較光學顯微鏡更高-集成電路技術研究
亞微米技術的主要受益者將是用戶。品種范圍更為廣泛、
價格極為低廉的微處理器、微型計算機、存貯器和其它大規模集
成電路器件將會投入市場。無論雙極型注入邏輯還是MOS器
件的亞微米技術都進展迅速。
不斷成熟的集成電路技術所出現的主要突變是基于不再受
可見光或紫外光限制的制造方法。正象電子顯微鏡的分辨率
比光學顯微鏡更優越一樣，電子束技術亦將對集成電路工業產
生重大的影響。電子柬技術的優點是電子的波長要比光的波長
短得多。目前，電子束技術與X射線技術竟相爭輝。
X射線的優點在于它沿直線傳播，不象電子束那樣需要真
空，這樣就可簡化生產技術。
亞微米技術對集成電路生產廠的影響舉足輕重。亞微米技
術可應用于目前生產的產品，以降低成本。半導體性能的基本
標準之一是每片硅片的凈合格管芯數。對今天的許多產品來
說，亞微米技術將顯示其優越性。因為在每片硅片上可制作更
多的電路，成品率也可提高，所以在相同功能基礎上每片硅片的
凈合格管芯就增加了。
亞微米技術的研究和生產技術的開發一般是由目前在集成
電路工業中尚未居領先地位的公司進行的。在集成電路市場上
通常被認為是無足輕重的國際商業機器公司、北方電信公司和
休斯公司在亞微米研究方面取得了重大的成果。貝爾實驗室、西
喇及其它類似研究機構的內部研究工作也可能會對集成電路
商業市場產生間接的影響。一個明顯的例外是得克薩斯儀器公
司所進行的研究，該公司致力于亞微米技術的早期應用和生產。
