金屬加工技術,集成電路工業檢測用工業顯微鏡制造廠

    硅加工技術的日新月異是使老產品淘汰的一個重要因素。
在一種硅加工設備生存期間，必須預見并迎接技術上的新的改
進。
    為了適當地解決這一問題，必須將硅技術分解成不同的部
分，然后再匯總起來作為一個整體來考慮，看看技術的哪些方面
對某一應用場合有不足之處。

    巨額的硅生意連同業已獲得的先進工藝和設備表明，硅將
繼續成為大部分集成電路器件的“頂梁柱”。
    生產復雜器件的亞微米技術的進展是令人注目的一個領
域，用可見光或接近于可見光的曝光設備是無法制造出這類器
件的圖形尺寸的。亞微米技術是以使用電子束和X射線為基
礎的。

亞微米技術對集成電路工業的影響比MOS對半導體工業
的影響更大。正如MOS使幾家新公司進入市場一樣，亞微米
技術將使半導體工業界內各供應廠家的地位重新作重大的調
整。對新穎半導體生產設備的需求也將驅使新的或現有的生產
設備供應廠家大大改進它們的生產線。

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