表面的粗糙度的測量可使用光切顯微鏡-讀數顯微鏡
檢驗儀用于檢核管水準器的靈敏度
將玻璃管安置在兩個棱鏡上，棱鏡固定在杠桿上，杠桿與反射
鏡連結。反射鏡的反射面垂直于自準直儀的照準軸。借助于尖頭螺
旋測量杠桿的傾斜度。
首先將玻璃管汽泡的一端和玻璃管上的起始分劃線重合，并在
掃準儀視場內觀測預先約定的零位。之后，移動自準直構件，．使其
位移量相當于水準器格值的數值。當汽泡穩定之后，依玻璃管分劃
尺檢核汽泡位移的一致性。
檢核也可按相反的次序進行，即當精確地移動汽泡玻璃管分劃
尺的一個分劃后，讀取距自準直儀零分劃的結果。
當要求特別高的精度時，其中包括對于長度的測量，形狀的規
格性的檢核和表面的粗糙度的檢核及對于反射鏡小傾斜度的測量，
凡此種種測量工作中，均應用著干涉型的儀器(干涉儀)。在干涉
儀中，可采用兩條或多條相干光束的干涉。有兩種應用干涉方法的
可能，第一是根據干涉條帶的位移，測量直線的位移。很容易以
0．1的條帶寬度的精度來測量這個位移，也就是說測量平面位移的
誤差達0．03微米。干涉的第二種應用是借助于標準表面來檢核其它
表面的平面度。
在測量實際中，基于測量條帶位移原理的干涉儀，得到較廣泛
的推廣。比如，根據條帶位移測定用來測定水準器靈敏度的檢驗儀
的反射鏡傾角。該方法的實質就是以光波長度根據測量直角三角形
小直角邊來測定小的傾角。
假設認為測量兩條直角邊的誤差對測角精度的影響是等價的，
那么由于在干涉方法中被測量的角度值不超過2"，則測量長直角邊
的誤差就可以測量小直角邊的誤差大1700倍。
近年來，在安裝和調校工藝設備時，垂高計得到廣泛應用，當
由于某種原因不可能用其它測量方法時，比如測量的物體位在真空
室內、高溫室內、具有很強軸射等等情況下，為了測量直線
尺寸都可應用垂高計。
垂高計的工作原理是利用望遠鏡依次照準被測量構件的起、末
兩端，將被測構件的尺寸和垂高計的作業尺進行比較。任何垂高計
的原理圖都是由下列基本構件組成：沿導軌移動的照準設備(通常
這種設備是望遠鏡)，望遠鏡整平設備(借助于水準器或液體水平
及自準直儀)、作業尺(分劃尺)和讀數設備(顯微鏡、錐形體和
放大鏡）
