測量的自動化顯微鏡的微圖形圖像識別測量儀器
對微小缺陷進行檢查的目的在于發現產品表面的傷痕、異物
和形狀畸變等，以及那種具有潛在的缺陷，使得雖然現在尚能正
常工作，但可能以后會變壞甚至造成故障的產品．
在利用顯微鏡的微圖形測量中，首先是適應于圖
形的微細化發展，滿足更嚴格要求的透鏡系統的研制取得了進
展．與此同時，測量的自動化也在進行，其目的不單是為了省力和
自動操作，而且起著提高精度和可靠性的作用，使以前被認為是
不可能進行的測量工作成為可能．
今后，期望處理由這些光學系統得到的圖像信息的軟件系統
的研制工作能根據各方面的要求取得進展．
微圖形的缺陷檢查和定位操作的現狀仍然是依賴于顯微鏡下
的目視操作．可是按目前的情況，生產線的速度在不斷提高，圖
案也更趨細微化，這就需要進行超出人的目視能力所及的操作．
其結果是不斷發生缺陷的漏檢，同時定位精度也降低下來．因此
迫切要求在生產線上采用高速和精密動作的自動化裝置．但是由
于人的圖像識別能力非常高明，即使采用現在高度發展的計算
機技術，要想把人的運算能力賦予機器還是很困難的．本節中所
介紹的幾種自動化裝置是用機器部分地代替人的圖像識別能力的
專用裝置．在機器只執行確定功能的工作時，它是極為準確而快速
的
