表面粗糙度測量中散斑的測量光學顯微鏡原理

利用散斑的測量大體可分為

1)相關法，2)干涉法．

干涉法中

有雙光束法、雙孔徑法和四孔徑法等．作為應用測量已報導的有
表面粗糙度測量、疲勞試驗、橫向位移測量、縱向位移測量、傾
斜角測量、振動測量等．對于散斑測量的記錄和全息測量的情形
相同，需使用與所用激光波長相符合的感光材料，分辨率不要求
那么高．使用的光學系統要充分地考慮到感光材料的分辨率進行
布置，這一點是很重要的．下面就使用相關法的疲勞試驗和使用
雙孔徑干涉法測量沿表面位移的例子加以說明．

疲勞試驗
    散斑圖樣是將激光照照到有粗糙表面的物體上，由被照明表
面的各點產生的反射光相互干涉而生成顆粒狀結構的明暗圖樣．
其中包含著有關表面微觀形狀的信息．疲勞本來是難以定量控制
的局部破壞現象，可是由于疲勞，會產生滑痕線、裂紋和微觀組織

的變化．將產生疲勞前的圖樣作為濾波器，通過測量陰影濾波器
的平均透過光強的變化能夠試驗出疲勞的發生．
這種方法在比用顯微鏡觀察發現異狀裂痕還要早的時刻就能從透過光強
中發現這種變化．

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