使用比較法檢驗粗糙度常用的有光切顯微鏡等
用樣板進行比較檢驗時，粗糙度樣板的材質、加工方法
要與被檢表面的材質和加工方法一致。因為材質和加工方法
不一樣，加工痕跡不一樣，對光的反射能力。音響以及粗糙
的感覺不一樣。例如，車削加工的樣板，不能作為銑削和其
他加工方法的比較樣板用，只能與同種材質的車削零件進行
比較。
觸覺法比視覺法和聽覺法方便，且檢驗誤差小。所以在
生產中常用這種方法。
比較法檢驗粗糙度，不能得出粗糙度的具體數值，為了
得到粗糙度的具體數值，應該用儀器進行測量。
就是利用光的反射、散射、干涉原理測量表面微觀不平
度，所用的儀器很多，常用的有光切顯微鏡和干涉顯微鏡。
近年來出現了激光測量粗糙度儀器。
光切顯微鏡
光切顯微鏡結構原理光切顯微鏡是利用光切原理設
計而成的。一束平行光通過具有平直邊緣的狹縫以一定角度
照射剄被測表面上，經反射，在目鏡里看到狹縫的象。如果
表面沒有微觀幾何形狀誤差，狹縫象是一條邊緣平直的光
帶；如果表面存在微觀幾何形狀誤差，則在目鏡視場內看薊
一條曲折的光帶。表面越凸凹不平，則光帶的曲折程度越
大。光帶的曲折程度與表面的粗糙度情況有關，所以可通過
測量光帶的曲折程度來確定表面的粗糙度。
