粗糙度高度值與工業標準相比較用專業光學圖像顯微鏡
實驗工作的目的是為了證明富里衰光學轉換系統可用作表面粗糙
度測量的儀器,標準樣板粗糙度高度值和轉換圖象之間在較小二乖
法意義上講將呈現線性相關關系,為了解決由于各向異性的散射光
分布引起復雜性和提供有用的信號平均值,實驗時使用一維富里光
學轉換系統,
將精研或磨削金屬樣本直接放
在正方形孔的后面,并用在分光鏡面反射光和光軸調整成同一直線
,表面上反射和散射的光線用一片轉換透鏡和一片圓柱艬來加收集
,圓柱透鏡能繞光軸自由旋轉,并在探測器平面上形成一維富里光
譜,如圖中所示,調整這些透鏡的位置使被照射的表面在軸的方向
上成象,而在方向上的空間頻率分布不受圓柱透鏡的影響,其它方
向的定位靠圓柱透鏡的轉動來實現,探測器的平面定位于轉換透鏡
后焦面和圓柱透鏡的象平面的公共面上,在軸方向的圖象尺寸是任
選的,并取決于轉換一圓柱透鏡組。
將表面粗糙度刻線樣板和 精密加工比較樣板作為表面粗糙度的
典型試樣,比較樣板是其粗糙度高度值為已知的母板的鍍鎳復制品
,該粗糙度高度值與工業標準相一致,取樣長度即與樣板的聯系的
粗糙度約為0.75mm(即保持主要顯微結構的間隔變化,包括粗糙度
高度和相關長度因素在內)