具有顯微結構的表面上的激光散射特征比較顯微鏡
用比較儀比對法檢定一等粗糙度樣板，作為比較儀可用一等標準
輪廓儀。
用直接測量法根據工作基準檢定一等標準儀器，一等標準測量工
具是用來以直接測量法檢定二等測量工具的。
二等標準測量工具是用來檢定三等標準測量工具的，也用來檢定
高精度工作測量工具——輪廓儀。
三等標準測量工具是用來檢定工作測量工具的。
由粗糙金屬表面小區域上散射光的遠場圖象，可用相干光學系統
來獲得，并且可用于機械加工表面粗糙度的定量測量，由于切割加
工速度的痕跡，其分布通常是各向異性，為解決這個問題，圓柱形
透鏡的相對于光軸合適的角度方向上形成一維轉換，并且，提供有
用的光譜平均方法，將高斯積分曲線對來自各個粗糙度取樣上的實
驗觀察的散射光圖象進行擬合，得到高斯寬度參數和粗糙度平均高
度之間的經驗線性關系。
利用在具有顯微結構的表面上的激光散射特征來
探索高精度表面粗糙度的測量方法，粗糙度將改變反射光的特性，
這是由于引入了漫散射光疊加在鏡面反射上引起的，由于從微觀不
平的表面上散射的相干光波間存在相長干涉和相消干涉的波動，反
射光將呈現斑點狀，較終將利用相干光處理系統對機加工金屬試件
的表面質量檢測研制聘種工具，實際應用要求能快速地在大面積上
和在車間環境中進行測量。
