表面粗糙度測量基本工具機械測量粗糙度輪廓儀
表面的微不平度是極其小的對象,為了確定它的大小要求有足夠的分辨率,傳統的線值測量工具對此是無能為力的。
由此看來,粗糙表面的微不平度的特點和粗糙度參數的物理含義不允許實現把測量單位從這一領域的一次基準器直接傳遞到標準器進而傳遞到工作測量工具而無顯著的精度損失,這也就決定了有必要研制專門基準器。
一等單色標準光源——根據蘭姆凹陷理論穩頻的氣體激光器; 干涉顯微標準器裝置,它由干涉顯微鏡、物鏡瞄準裝置和附加的線位移測量工具組成粗糙度標準樣板。
表面粗糙度樣板是保證表面粗糙度領域測量統一的基本工具,它與標準儀器一起組成檢定系統的基礎,樣板工作區域內的表面輪廓不應該簡單地模仿實際表面的微不平度,這方面的研究工作確定了對工作區域輪廓特性的基本要求,這些要求應該保證高精度地檢定高度參數,另一方面,應該使輪廓的形狀能夠用來確定對實際的各種類型表面進行測量的允許總誤差且使其有好的工藝性,即在可能接受的制造成本下用已有的制造方法制造出必需數量的樣板,在制造粗糙度樣板時,還應該考慮到對表面層的物理機械和化學性能提出的要求。
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