多光束顯微鏡的原理表面鍍層粗糙度計量顯微鏡
光學技術多光束干涉顯微鏡——在各種各樣的光學顯微鏡中，干涉顯微鏡是較經常用來獲得表面形貌定量信息的一種儀器，給干涉顯微鏡作了評論，研制的多光束干涉顯微旬，由于它非常靈敏，精巧和成本低，在近十年內已得到廣泛普及，干涉顯微鏡較簡單的表演是大家所熟悉的牛頓環的實驗一在個凸透鏡上放一塊平板玻璃片，通過低倍率顯微鏡觀察，從透鏡表面和正好在平面的同一點上反射回來的相干光束，形成一系列黑白相間的干涉環，從平面和透鏡的接觸點開始，按半波長的倍數計算，每當表面離開這一距離時就出現一個環。
在多光束干涉顯微鏡中，平玻璃片的下表面舉涂的銀層或鍍一系列特殊的介質膜，后者可能把反射率上升到97% ，在牛頓環實驗中如果用所研究的金屬替換凸透鏡，于是光線在穿過銀膜層返回以前，在表面和銀膜層之間來回多次反射，這種多次反射光使干涉條紋變得顯著地尖銳，對于高反射北的表面和97% 反射系數的鍍銀薄膜，條紋寬度可達到條紋間距的1%那么小。
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