測定表面的構形電子顯微鏡測得鋼件磨削表面圖象
近年為測定表面的構形還采用一種光柵式電子顯微鏡，這種方法
就是將被測表面置于真空中，用狹窄的電子束進行掃描，電子束掃
描時掠過整個被測表面，利用電子束與表面接觸處產生的二次輻射
，即可在電子射線管的影屏上獲得表面的影像，這種儀器的分辨能
力可達30nm，用掃描電子顯微鏡測得鋼件磨削表面圖象。
根據干涉法工作的儀器應用了邁克遜干涉儀的工作原理，將單色
光光束利用半透明鏡面分成兩束光，其中一束光射在一鏡面上而被
反射；另一束光射地被測表面上也被反射，反射的二光束疊加而形
成干涉圖像，光程差等于整數光波的地方較亮；而光程差等于奇數
半波時為較暗，在顯微鏡的目鏡中看到的干涉圖象為明暗交替的條
紋，因為從不平度輪廓峰反射的光束所走過的路程比輪廓谷反射的
光束小，所以不平度使干涉圖象變形而導致條紋發生彎曲，從暗條
紋過濾到亮條紋表示光程慶功的變化，根據這個變化可容易地算出
不平度的高度，多光束干涉儀能夠顯示特別清晰的干涉條紋，根據
干涉條紋就可以得出精確的讀數，干涉法的優點是圖象清晰，可作
出不平度的形狀和高度的評價，這種方法適用于在測針壓力下會變
形的軟質表面，該方法的缺點是可測的表面面積較小，對高度超過
1-1.5μm的不平度就不能測量，另外在測量表面粗糙度的統計特性
時比較麻煩全精度也不高。
