測量具幾何形狀零件,機械化和自動化檢驗顯微鏡
專用測量器具是用于測量具有一定幾何形狀零件的特殊元
素，或用予測量與零件幾何形狀無關的特殊參數的測量器具。
屬于測量具有一定幾何形狀零件的專用測量器具有量規、測
角儀器、螺紋量儀，齒輪量儀、機械化和自動化檢驗儀器。
屬于測量零件特殊參數值的專用測量器具有表面粗糙度量儀
及形狀和表面位置偏差量儀。
坐標測量機的測量原理實質上都是一樣的。測量時，零件安
裝在儀器的工作臺上，即可測量零件的全部參數，不偏重新安
裝，當然，零件在工作臺上安裝表面的位置偏差除外�？偟恼f來，
坐標測量機可以測量平行六面體零件的五個面，而不必重新安
裝零件。測量時，傳感器沿三個坐標軸方向移動，而零件不動
或者零件沿x和y軸移動，而傳感器僅沿z軸移動；或者零件
僅沿x軸移動，而傳感器沿y和z軸移動。
在作這類測量時，傳感器或者裝著零件的工作臺在移動過程
中，測量系統就確定傳感器和零件的相對位移量，向記錄裝置或
計算裝置中輸入信號，表征傳感器測量頭與被測零件表面接觸
瞬間以前的三個坐標方向的位移量。在某些測量機中，傳感器
給出的信號不僅表示讀數測量系統的位移量，而且還表示直接由
傳感器來的補充數據，提供測量頭同時在三個坐標方向偏移的信
息，以減小由測量系統慣性所引起的誤差。
坐標測量機的規格被測零件的較大尺寸，有的到400-500
mm，有的到8一lOm，還有一些通用測量機可測尺寸到16m的
零件。用得較廣泛的是可測較大尺寸為500～1000mm的零件的
測量機，因為這類零件形狀復雜，在機器制造中應用較多。
測量機坐標導軌在很大程度上影響測量的精度。大多數坐標
測量機用空氣靜壓導軌或滾珠滾柱導軌。如用空氣靜壓導軌，其
底座常用巖石制成。巖石與金屬相比，在承受力和熱變形方面都
有很大的優點。
