多功能大型測量顯微鏡的測量精度的誤差常識
蠕動誤差主要反映在橋式結構，產生誤差的原因是：縱梁
方向和導軌移動時，左右測量架不能同步移動，使往返行程的
軌跡不重合，產生回程差。
該誤差對于測量精度的影響甚大，誤差值的大小與座標測
量機的結構形式，制造和裝配的精度等因素有關，如有個單位
地試制座標測量機時，原設計采用一般鋼導軌和精密軸承結構
作為X 、Y 、Z 座標的導軌副，由于各軸承軸線不能嚴格平行，
引起往返移動時軌跡不一致，產生相互干擾，回程誤差較大，
后經改進，要縱梁移動導軌的垂直方向軸承上增加了可相對浮
動裝置，使蠕動誤差得以減小，設由于蠕動而產生的誤差為：
X 、Y 、Z ，它們一般應控制在2-4 微米以下，在懸臂式結構
中，蠕動誤差通常可忽略。
測頭誤差測頭系統是座標測量機的重要部件，它便于進行
空間位置的測量，其精度直接影響著測量總精度及其可靠性，
測頭誤差一般由四項內容組成。
測頭結構引起的誤差測頭結構引起的系統誤差，主要是由
于導軌的幾何誤差在測頭上的反映，即測頭的位移誤差。
測頭結構產生的重復性誤差，主要是軸承的偏心誤差引起
的離散，對于過零發訊的測頭還須考慮測頭停止產生的附加加
速度，它會使各滑架、導向面和軸所具有的慣性力、摩擦力等
的平衡發生變化，造成機械各部分的變形，使測量值離散，這
種誤差屬于隨機誤差。
溫度的影響濕度對測量雖無直接影響，但當濕度超過60%
時，座標測量機的工作部分易產生銹，光學鏡頭易發霉，因此
濕度間接地影響著測量，若濕度過低，會使測量者有不適之感，
此外，濕度和溫度的控制有著密切的關系。
