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較粗糙的表面任意兩點光學距離測量顯微鏡




來源:yiyi
時間:2015-6-28 18:43:04

較粗糙的表面任意兩點光學距離測量顯微鏡

全息照像干涉測量和普通干涉測量是有區別的。它能利用同
一個光路記錄不同時刻的波前,這就能用由真實物體所得到的干
涉圖與標準物體干涉圖進行比較。此時,一般說來,對光學器件
的質量要求并不十分重要。因為即使光學零件不完善,兩個干涉
波的變化程度仍是一樣的。

    較粗糙的表面,用全息照像干涉測量技術比較方便,只是在
全息圖方向上要散射足夠的光量。它不需要比較標準樣件,就可
以進行任意的相對測量。例如,可以測量當表面變形或受壓縮時

,
表面移動的情況。這時,原始的表面狀況,可以用作較終表面狀
況的標準樣件
全息照像干涉測量技術可以在不同時間以真實比例進行兩次
曝光。這樣就可以同時見到物體變形的干涉圖象的變化。實際上
的問題在于,在顯影之后~定要把全息圖放還到記錄時的原始位
置上。

    再現時,可同時照射全息圖和物體。如果以原來的參考光波
照射全息圖,使之精確地還原到原始狀態,則所成的虛像不僅象
這個物體的精制復制品,而且能與空間的物體相重合,也有著與
物體相同性能的光散射襲面形狀。為此,觀察時必須使物體光束
和參考光束形成的干涉組織與記錄在全息圖上的組織重合,其精
確度要達到條紋間距離的十分之一以內。如果物體光束和參考光
束之間的角度小,這也是容易做到的。
    如果物體受到變形,那么,由觀察點到表面上任意點的光學
距離也起變化,這個距離是相當予標準樣品表面(虛像表面)各
點的相對距離,由表面各點到照射兩個表面的光源的距離也發生
變化。由同一部位上、但是從表面位移部位上散射的相干光束,
在由光源到觀察平面的光路上,相應地得到了相對的相位移動。
由于相位的移動,以及由它引起的形成光波振幅的變化,產生了
干涉圖象。這種圖象可以表示物體表面變形的性質。

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