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測量顯微鏡的分辨率-測量形狀、尺寸和表面質量




來源:yiyi
時間:2015-6-27 14:17:32

測量顯微鏡儀器的分辨率-測量形狀、尺寸和表面質量
   
實際接觸面積的測定方法和測量儀器

在實際的研究工作和工藝過程中,常用三種方法測定實際接

觸面積,即信息法、光測法和電測法。
    采用第品種方法時,要用染料、放射性物質以及金屬
箔和細絲作為實際接觸的信息物。在接觸過程中,由于受
力的作用,信息物的形狀、尺寸和表面質量發生變化或者在所研
究的表面上留下痕跡,據以判斷實際接觸區的形狀和尺寸。

    這種方法的分辨率和可靠性主要取決于信息物的層厚。它的
厚度應為表面不平度高度的幾分之一。否則,不平度將被信息物
所填滿,而只有表面上高度超過信息層厚處的接觸區才顯示出
來。所用的信息物層厚為0.01---50微米。

    在第一種方法中,用放射性同位素量有發展前途,如使用得
當,它在尋找實際接觸點時能保證有很高的分辨率和可靠性。

    光測法的基礎是:

    當所研究的表面與透明材料的試樣接觸時,接觸點上全內反
射遭到破壞的現象;
    當光線從一種介質轉到另一種拆射系數不同的介質時光的反

射和散射現象;

將光譜上純的電弧碳
素電極放在真空室中進行蒸發,可獲得碳膜。用這種方法涂致的
膜具有很薄的非晶結構,能精確地復現十分鮮明的表面形貌。

    用這種方法很易用肉眼看出厚幾十埃的膜。這種方法無需復
雜的設備、具有很高的分辨率,并能測定表面上粗糙度達9 -10
級的接觸面積。

    顯影法制定的先決條件是,通過各種研究所發現的與金屬
物理狀態有關的金屬電勢發生某種變化。這種變化在冷作硬化時
非常明顯。經冷加工的金屬通常要比退火狀態稍差。經過不均勻

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