光學顯微鏡測量微觀很深表面要用孔徑小物鏡
光學顯微鏡測量法能夠研究金屬一周圍介質分界面上固體的
結構特點。但是．光學顯微鏡的分辨率(取決于數值孔徑(么)和
光的波長(=0．50微米))較低，因而它的應用受到了限制。這
時，研究微觀形貌很深的表面要用孔徑小的物鏡。這就使光學顯顯微鏡
的分辨率更加降低。
應用了紫外線輻射（=0.21）.
借助于光學顯微鏡來研究微觀形貌具有很大的意義。干涉測
量術是測量表面微觀形貌的一種較靈敏、較精密的光測方法。大家
知道有兩種基本的干涉法，即雙射線法和多射線法。多射線法能
得到很細的干涉條紋，以致就連條紋極小的位移也能看出，而這
樣就能測出表面形貌的微小差別(約5埃)。
光學顯微鏡因分辨率低而產生的主要缺點，在電子顯微鏡中
能得到克服，電子顯微鏡為了照明而采用了有效波長約為0．05埃
的電子。這就是說，電子顯微鏡的分辨率有可能比光學顯微鏡高
108倍。實際上，由于受電子透鏡結構和試樣制備方法的限制，
分辨率僅達2埃左右，而經常使用時為10埃左右�？梢�，電子
顯微鏡能夠觀察和測量原子級結構的特點。作這些研究時，
除了要復制所研究的表面以外，還要將大試樣削薄成尺寸達
0．5一O．25微米的透明薄箔，也就是要研究對電子“透明”的試
樣。
使用光柵電子顯微鏡是在電子顯微測量研究中跨出了新的一
步。使用這些儀器可以研究電子透不過的大塊對象。對于
分析具有一般深度形貌的真實摩擦面結構，光柵電子顯微鏡測量
法具有特別重要的意義。問題是，由于結構上的特點，光柵電子
顯微鏡具有非常大的焦深。當放大率為X 500時，焦深為0．5毫米
當放大率為×10000時，焦深達8000埃。這種性能使光柵電子顯微鏡
能研究有效放大率為20000 - 40000(這一點大大超過光學顯微鏡)時
的表面形貌
