9J型光切顯微鏡利用光切原理測量表面微觀粗糙度
光切顯微鏡
測量光切顯微鏡是利用光切原理測量出表
面微觀不平度的深度，從而得出粗糙度等級。光切顯微鏡是由照
明和觀察兩只顯微鏡組成，所以又稱為雙管顯微鏡。光切顯微鏡
可以測定▽3～▽9范圍內的粗糙度等級。屬于這類儀器，
有上海光學儀器廠9J型光切顯微鏡，和進口的雙管顯微鏡，
它們在光學原理和構造上都是基本相同的。
光切顯微鏡一般用來測量表征參數Rz：，如要對表征參數Ra。
進行測定時，則需要確定輪廓中線，然后再經過比較煩復的計算，
較求Rz復雜，具體細節，可參照儀器的說明書或專門光學儀器
叢書的指導進行。
干涉顯微鏡測量 干涉顯微鏡是利用光波的干涉原理來
測量表面粗糙度。它是把被測表面的微觀不平度以光波干涉帶的
曲折程度顯示出來，和我們利用光學乎晶測量精密平面不平度的
干涉原理基本相同。當表面平直接近理想平面時，則看到的是直
線的干涉條紋；如果表面不平，中間有溝狀凹下，則會看到曲折
的干涉條紋
利用粗糙度標準塊進行比較，只能近似地判斷出粗糙度等級，
無法測出數值，所以只適用于粗糙度要求不嚴的加工表面。
光學測量法光學法測量表面粗糙度的儀器主要有光切
顯微鏡和干涉顯微鏡，由于測量時不和被測表面直接接觸，所以
又稱非接觸測量法。
表面粗糙度的測量
表面粗糙度的測量，從測量方法來講，常用的有比較測量法，
光學測量法，針描測量法，另外還有印模測量法、激光測量法和
綜合測量法等。
比較測量法 比較法是將待測的加工表面和已知等級的
粗糙度標準塊用目測進行比較，確定加工表面粗糙度的高低，是
生產中較常用也較筒便的一種測量粗糙度方法。粗糙度標準塊是
用車、銑、刨、磨等各種不同加工方法制成的一套金屬樣塊，有
平面形也有圓柱形。粗糙度標準塊的工作表面，是在加
工之后，經過精密測量，然后標上粗糙度等級。
