電子視頻式顯微鏡精巧而效率應用到微觀分析測量
作為微電子技術環境控制的顯微手段，其測試儀器有從較簡
單的臺式顯微鏡到當前使用的精巧而效率很高的各種儀器，而且
把放大和微觀分析都結合在一起了。
關于分析和檢驗儀器的討論來看，顯微法是觀察人員從各種線索
中得到信息的唯一方法。觀察人員可采舊很多方法進行處理以獲
得所需信息；也可從較初的觀察中，看出各種情況和數據的相互
關系，從而決定采用哪一種有效方法。 顯微鏡和其它方法聯合
使用，在檢驗工作中往往是處在第一線的。
由于引入了自動掃描系統和計算機的數據處理技術，定量顯
微分析近年來日益重要。 在測量粒子大小的分布，樣品的其它
特性中更是如此。
顯微技術的進一步發展促使光學顯微鏡的數據自動處理，電
子束顯微鏡分辨率和分析靈敏度方面得到更大的改進、在這新的
領域中，當前首先要做的工作是將檢驗技術推進到更先進的水平
，使之能對微電子器件中很小的斑點進行觀察，并獲得更高的分
析靈敏度。
焦質譜儀進行檢測和識別
質量分析
從試樣選出的離子按質荷比用雙聚焦質譜儀分類。質譜是由
質量范圍和控制信號強度進行掃描而繪出的。
縱深剖面圖
一方面用檢測器監視某一同位素，另一方面腐蝕試樣，從而獲
得某一元素濃度的縱深剖面圖，該圖是以檢測器檢出作為腐蝕深
度的函數(同時也是時間函數)而繪出的。
在離子質譜儀的制造中有兩種不同的設計方案：一種方案是
離子同時轟擊試樣大面積上的所有點，然后采用一定的方法分析
