不同類型的顯微技術微電子產品檢驗的光學顯微鏡

    顯微技術幾種類型的顯微技術及其在微電子產品污染
檢驗方面的應用。顯微技術在了解器件結構及污染的內在
關系方面已成為一種強有力的檢驗技術。它可以在微米級
范圍內觀察器件表面存在的物體、各種顯微儀器可歸并為
兩類：一類是在整個焦平面內同時顯像；另一類則是用被
聚焦的點在指定區域內運動而產生圖像，光學顯微鏡和透
射式電子顯微鏡都屬于同時顯象一類，這里將首先加以討
論。

    光學顯微鏡照明光學

    光學顯微鏡是一種能迅速全面地觀察缺陷和雜質粒子
的工具。用這種顯微鏡觀察雜質粒子，往往直接就識別了，
并可找出粒子和缺陷間的關系及其產生的原因和效應。反
射式和透射式照明系統在光學顯微鏡中都能使用

    光學顯微鏡具有一連串的透鏡：聚光鏡、物鏡和目鏡。

    在反射式照明系統中，物鏡還兼有聚光鏡的作用。不
論是反射光，還是透射光都有幾種照明形式：即亮視場、
暗視場、偏振光、相位反差以及干涉反差等。

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