光學顯微鏡在測量中的應用-多功能光學元件廠商
研究顯微變形的光干涉測量法
光干涉測量法通常分為點的和立體的(全息照相)兩種。
用第一種方法可以進行一個點上的探測;而用第二種方法,
則無論被研究物體有多么復雜,都可以同時觀察物體整個被研究
的表面或整個物體。
在點干涉測量法中,利用兩來精確疊加的光路,
因為這里的
干涉圖象出現,只是在對同時存在的兩條光程圖象進行比較而來
的。各種點干涉測量法實際上都是利用邁克爾遜干涉儀或其變形
產品的原理力基礎,其結果是兩束相干的平面光波的疊加而產生
干涉,所以各種光學元件都應當是高質量的。
被研究的物體表面的本身在某種程度上也是干涉儀系統中的光學
元件,所以這個表面應當是光學平面,而且要拋光成鏡面。
這里,探討一下全息照像的物理頃理和它與普通照像的區別。普
通照像一般在白色光(非單色光和非相干光)下,光學(透鏡)系統
將三維物體拍攝在照像底版平面上。這樣,物體的像就失去了立
體性質,不能從像片各個方向觀察物體,所以在像片上沒有位移
視差效應。
只能拍攝物體一定部位的像。所以,在一張底片上無法拍攝幾個
物體的像,因為一個像要干擾另一個像。像的照度決定于在單位
時間內照射在底版每個部位單位面積上光的能量。此時不考慮物
體反射的光波相位,因為它們是分布在像的平面上的。
近來,
所謂全息照像的方法得到了成功地發展。這種方法所
得到的光學圖象與普通照像有原則亡的區別。全息照像法是一種
原理上全新的方法,可獲得物體的立體成像。這種方法的基礎是
:空間相干的單色光波, 當相交時,在相互平行的方向上偏振
而產生干涉。
全息照像的過程,總的說來,就是把照射在物體所有點上的散射
出來的光波和參考(直射)光波疊加在一起。
由于相干光波疊
加的結果形成了干涉圖象,這種圖象一般記
錄在照像底版或感光軟片上,假如照射在底板上只有三維物體所
散射的光,那么,這種光對底板的照射是均勻的。
我們得不到由物體各點散射的光程差所決定的對照度的信息。如
果帶給物體的另一種信息模擬為參考光波,它起著直射頻率的作
用,則這種模擬所反映的不僅是振幅的變化,而且還反映相位的
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