數字式測量顯微鏡帶測微工作臺多種測量方式
通常，用顯微鏡或者帶測微工作臺的十字標線進行測
量，現在已普遍使用數字式測量顯微鏡，也可在帶有標尺
投影屏上或照片上測量。
選擇適當的放大倍數使視場寬度為涂層厚度的1 分之
1/2 到3 倍，很薄的涂層應采用較高放大倍數，要在沿試
樣長度方向的若干個位置上測量涂層厚度并計算其平均值，
若厚度不均勻，應作更多的測量，可以用測量值的標準偏
差來描述涂層的均勻性。
一種評定涂層厚度的統計方法，粗涂層的厚度是由測
量涂層與基體間的界面到表面峰和谷之間中點的距離來確
定的，如要求測定較大和較小的涂層厚度，則必須掃視試
樣來找出這些部位，為獲得較佳精度。
對用光學方法測量涂層厚度的精度進行和詳盡研究表
明：厚度為8-480 μm 的平整涂層的實驗室測量值偏差為
7%或者1.0 μm ；粗涂層的測量值偏差較大，其不確定性
為35% 或40μm ，大多數誤差來自校準錯誤，測量判斷或
測量裝置問題，而試樣制備不起重要作用。
誤差來源的詳細分析，對每一種目鏡和物鏡的組合都
必須精確地確定放大倍數，測微器測量裝置或目鏡標尺必
須用測微工作臺在各個放大倍數下進行校驗，指出：若有
15個操作者，在一個測微工作臺上用游絲測量顯微鏡測一
個固定間隔時在約495X和900X下測量值的散布為0.8%，單
個操作者的測量值散布則小得多。
