使用光源的波長不同顯微鏡的分辨率也會不同
對光學系統的要求由于大多數光學玻璃、透明塑料和
常用的膠吸收大量的紫外光，所以須使用特制的紫外光物
鏡，與其配用的浸液也必須能透過紫外光，如無水甘油等。
紫外顯微鏡不能用肉眼觀察，必須通過顯微攝影或其
它的方法記錄其像，目前也使用一種像轉換器，它可以把
紫外光像轉換為可見光像。
紅外顯微鏡紅外顯微鏡是為紅外顯微術專門設計或附
加配備裝置的顯微鏡，它可用來檢查某些對可見光不透明
的物體，在半導體材料的檢測中應用較廣，許多半導體材
料能通過能量小于它的禁帶寬度所對應的波長的光線（如
硅可以通過波長大于1120nm的紅外光），因摻雜、金屬化
或因內部缺陷而使得半導體材料中自由載流子濃度增加時，
材料對光的吸收也增加，當用紅外光照射半導體標本時，
各區域透光的強弱反映出標本構造的細節，電視監視器就
顯示出圖像，由此可迅速、準確、無損檢測出材料的不均
勻性，不規則的擴張、外來雜質、晶體內的缺陷、蒸鋁岸
上線缺陷，MOS 器件溝道長度等。
紅外顯微鏡所顧的像不能用肉眼觀察用電視顯示或特
殊膠片記錄，也可在光路中使用像轉換器，以便通過目鏡
觀察。
紅外顯微鏡使用的波長較可見光長，故分辨率比可見
光顯微鏡低。
