表面微觀結構及樣品幾何形狀計量圖像顯微鏡　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　
    因為表面微觀結構對于表面功能特性的關系必需既考慮表面
形貌的高度，又要考慮形狀，所以，新的電容式儀器可以在表面
計量學上有助于填補空白。在表面性能中，振顫起著非常重要的
作用，但是在使用觸針式儀器時它被大大地忽略了，因為振顫周
期大于標準的截止值0.03in（0.76微米）。另一個原因是振顫主要
是平行于紋向的，面積式電容探測器對振顫的表面上得到的微觀
結構測量值明顯地大于觸針法粗糙度值，這樣，新儀器有希望對
傳統表面提供改善微觀結構性能的條件。
　　　　　　　　　　　　　　
    實際上，表面性能取決于它磨損中的幾何形狀。通常，為了
得到較好的性能，在使用前將其峰頂從工件上去掉一部分，利用
經過準備性工序后的表面結構作為被測對象，或用能在“加工后”
    的表面上測量出“磨損”和表面結構值的儀器微觀結構和性
能之間關系是合理的，電容原理儀器就是基于這個推斷而設計的。

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