測量工件表面粗糙度和幾何圖形輪廓測量儀器　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　
    測量工件表面粗糙度和幾何圖形方法的適用性正在研究中，
對于簡單的表面已得到了和機械測量相一致的結果，下一步是要
修正更復雜表面所得到的結果，如車削、磨削和研磨的表面粗糙
度，完成了這一點，儀器量程便從現在的10微米或更大，這將極
大地提高它的使用性能。
　　　　　　　　　　　　　　
    顯微鏡還存在由于儀器目前的結構所強加的某些限制，例如
它不能用于測量小孔且需移動工件，末琮的工作計劃是探索更合
理的結構以克服這種限制，例如用激光束掃描工件表面。
　　　　　　　　　　　　　　
    與機械式儀器相比，離子激光裝置的價值較高，使其受到進
一步的限制，但這究竟只是一方面的觀點，在那些接觸法不合適
的場合，這種類型的儀器將會有很多用途，同時還可用于標準實
驗室代替機械式儀器。

    研究顯微結構時，通常將客體放大數百倍至千倍，即其觀察
細度為微米數量級；而研究微觀結構時放大倍數可達數百萬保，
其分析細度可達數埃。故顯微結構又稱關微觀結構。

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