機械零件加工表面粗糙度測量儀-多功能顯微鏡
在表面粗糙度和零件加工這兩個相互影響的技術領域中，較
重要的問題是什么？我們可能會向并欣然回答這一較顯而易見的
問題；零件生產成本是受表面粗糙度要求的影響嗎？回答顯然是
肯定的，而且長期以來已為人們所熟知。
（1 ）一臺測量儀器或轉換器可以把表面形貌變換為某種形
式的、供數據處理用的圖象當轉換器的靈敏元件掃過校驗樣板表
面的柵紋路時，所獲得的現今較通常的圖象形式是一個電壓信號，
然而，圖象形式同樣也可能是一個干涉圖形、一個掃描電鏡的顯
微圖像或者是光截面的圖形。
（2 ）分析裝置用于處理表面人圖象，以便能表示形貌的特
征或用簡便的方法展示形貌。
（3 ）數據顯示可包括從簡單瓣模擬指示計延伸到復雜計算
機繪圖終端——能顯示表面形貌的等距三維景象或其特性曲線。
在試圖回答關于使用什么儀器、采用哪種表征參數和要求做
哪些分析問題時，必須仔細考慮表面形貌測量系統的所的各部分，
尤其是他們各自的相互作用影響。例如，干涉儀具有非常優良的
測量特征：它不接觸試樣，有大約10nm（即0.5uin）的垂直分辨
率。而且從原理上來說是精確的，但是從數據分析的觀點考慮，
要從干涉圖形獲得這種表征參數是比較困難和不適宜的。
