顯微硬度計測量壓痕用的光學裝置的應用-測微器目鏡

    光學裝置顯微硬度計上測量壓痕用的光學裝置，必須在壓
痕的兩端同時聚焦，而且裝置要固牢，無振動。照明系統也很
重要同，在顯微硬度試驗技術中，必須有包括照明方式在內的
完整的測量技術規范，例如，使用偏振我就比非偏振光得到的
測量結果大一些。顯然，這是由于衍射圖樣的反轉引起的，也
就是說壓痕看來要比本底亮，在記錄試驗數據時，建議將所用
的放大倍數及照明方式都正式記錄下來。

    一般都使用較高可用分辨率的干物鏡，但有時也必須使用
油浸物鏡，對干透鏡來說，在所能使用的孔徑數值較高時，其
準確度已達+0.5微米。還有，同一觀測人員可以用+0.2微米的
準確度比較出兩工件之間的差值，使用油浸透鏡時，壓痕測量
結果的準確度可以達到+0.3微米，盡管觀測人員仍然能夠以+0.2
微米的準確度比較出兩工件之間的差值。

    必須以較高的精度校準光學系統，這就需要有一個準確度
高的臺式測微器，校準工作必須包含所用的全部光學系統，包
括鎖定在實際測量時所處位置的叉絲測微器目鏡。還有，臺式
測微器至少要準確到+0.1微米。

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