應用于表面粗糙度測量較廣泛的儀器-粗糙度儀 表面粗糙度測量中用得較廣泛的儀器是針描式儀器,該儀器用很尖的觸針在表面上劃動并用機械或電器放大其垂直的位移。通常,所考慮的橫截面是垂直于統考紋理方向的,同時對橫截面的輪廓經過手工或電學處理后得到代表表面粗糙度的值。 在考慮表面的三維特性時評定粗糙度的較簡單的方法或者光學放大鏡或者光學顯微鏡再用肉眼觀測。電子顯微鏡能用較高的分辨率檢測表面。 曾作過用表面的反射光來評定表面粗糙度的嘗試,另一些方法是用參考表面與被測表面作比較,在干涉儀中,利用光學平板作參考表面能得到表面的干涉圖象,氣動法是利用參考平板噴嘴和表面間氣流泄漏所產生和反壓來評定表面粗糙度。利用參考平板與表面間的電容也能度量表面的粗糙度。 在表面粗糙度測量領域里還有許多能得到不同參數的技術,它們的用途還某些爭論。然而,能被大家所理解的是需要尋找一種快速和有效的表面粗糙度測量方法。
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