非常精細表面粗糙度測量用光學顯微鏡的類型
當使用光學方法時，局部散射和總體反射的區別也需考慮，
而任何非傳統的粗糙度測量方法應該以參數給出測量結果，該參
數要符合公認的ISO 粗糙度術語，一個光學和數字方法的聯合裝
置已被研制出來，用非接觸的光學數字方法給出的結果是令人滿
意的、全面的，而且符合ISO 術語，因而非常精細表面粗糙度的
實際比對成為可能。
在實際的干涉顯微鏡內，有關被研究表面的干涉圖樣的很多
復雜信息沒被利用。如果被研究表面的結構沿其表面接近于常數，
那么，其干涉條紋通�？梢员焕斫鉃槭歉叨惹�。
改進這種目視檢查窄小條紋的方法，通常是尋求：（a ），
使用具有陡的密度曲線的照相材料，（b ），使用多光束干涉法，
或者（c ）。借助于一種為等密度法的照相技術，在各種情況下，
較高精度所換來的只是在表面的主要部位的較少的信息。
這些缺點與不能使用干涉圖樣的全部信息緊密相關，從而導
致我們進行了下面介紹的初步實驗，在這個實驗里，然而這一點
卻避免了去確定密度曲線的必要性，因為被利用的僅僅是一個灰
色值。通常，當表面上的粗糙度參數的散布是相當大時，這種方
法的分辨率大約在1%左右已足夠，空間分辨率被顯微鏡物鏡的孔
徑所限制，約為1 μm ，這兩者都受到照片象的粒度的不利影響，
但在這里這種影響是微不足道的。
