表面粗糙度光學檢驗粗糙度儀-電子顯微鏡技術
表面粗糙度的測定方法中吸附法到達較高的“分辨度”，吸附法所
記錄的表面，是能被吸附物分子所接近的所有表面，因而能包括分子直
徑數量級的不規則性，應理解到機械法、光學法和電子顯微鏡法能直接
測出該有關物體的尺寸，這在原則上可以用一些當量直徑表示，而吸附
法能直接測定表面積，只能間接地導出直徑值，如這種不規則性的深大
于寬，它們對內表面有貢獻，因而吸附法主要地用于測定表面，而不是
外表面，然而對于具有可忽略不計的內表面的粉體，氣體吸附法原則上
可以應用于測定外表面，實際上，只有更細地分散的固體才能用此法研
究，因為氮吸附的比表面測定的下好是約每克 1米，而氪吸附是約每克
500 厘米，分別對應于約2 至40米數量級的粒度。
對粗糙度的一處方便但近似的光學檢驗法就是用眼觀察，看表面的
任何部分是否給出一個完善的鏡子的印象，如其不然，則其不規則性至
少屬于光的波長的數量級，于是該表面是由面積大于允10厘米的許多小
平面所組成，它們與表面總方向相交構成品種角度，這檢驗法的分辨力
與顯微鏡的屬于同一數量級，即使鏡面看來是完善的，卻還不能假定表
面沒有這數量級的不規則性，因為深的裂縫會因匯集了大量的光線面鏡
狀地被反射，從而使深裂縫不能表現出來。
對于電子顯微鏡，分辨的極限下推到幾十A ，在有利場合可達10A
左右，因而這儀器可揭露存在著的幾十分子直徑高的粗糙度。
