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將微小的長度變化計量用光學式測長儀廠商




來源:yiyi
時間:2015-1-20 19:15:23

測量軸軸線與工作臺不垂直度對測量精度的影響

    由于本儀器是進行比較測量的,因此,此項誤差與被測件
的本身長度無關,而與基準件和被測件之長度差值有關。這
種不垂直度所引起的誤差是二次誤差:

    立式接觸式干涉儀是應用光波干涉原理作高精度的比較
測量。目前,主要作為長度基準傳遞儀器,可檢定二等或二等
以下的塊規,也可對尺寸在160毫米以下的精密工件的微差
尺寸作測量。

顯微鏡測量原理

    此儀器應用了光波干涉原理,將微小的長度變化轉變為
干涉條紋的移動,再記錄干涉條紋的移動量來達到測量微小
長度的目的。

    干涉濾光片有兩個用途,一是用來定分劃板的分度值,
一是來尋找干涉條紋。在干涉箱的后面有兩個帶十字槽的螺
釘,通過專用調節扳手來轉動它,可以改變干涉條紋的寬度和
方向。

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