測量軸軸線與工作臺不垂直度對測量精度的影響
由于本儀器是進行比較測量的,因此,此項誤差與被測件的本身長度無關,而與基準件和被測件之長度差值有關。這種不垂直度所引起的誤差是二次誤差:
立式接觸式干涉儀是應用光波干涉原理作高精度的比較測量。目前,主要作為長度基準傳遞儀器,可檢定二等或二等以下的塊規,也可對尺寸在160毫米以下的精密工件的微差尺寸作測量。
顯微鏡測量原理
此儀器應用了光波干涉原理,將微小的長度變化轉變為干涉條紋的移動,再記錄干涉條紋的移動量來達到測量微小長度的目的。
干涉濾光片有兩個用途,一是用來定分劃板的分度值,一是來尋找干涉條紋。在干涉箱的后面有兩個帶十字槽的螺釘,通過專用調節扳手來轉動它,可以改變干涉條紋的寬度和方向。
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