高精度零件加工組裝視覺顯微鏡,集成電路工藝
實際應用的裝配系統，一般采用集中裝配的方法，即整個微
系統的器件都在一個裝配系統中完成。采用這樣的裝配方式不僅
不能很好地解決微裝配存在的三維信息提取、全局一局部視覺系
統集成、粗一細運動平臺控制、裝配系統復雜等問題，還帶來了
新的問題，主要是：
（1 ）采用機械手傳輸待裝配的器件，由于傳輸的距離遠，
機械手須特殊設計，且設計困難。當傳輸不同形狀零件時，機械
手的末端執行器需要更換，浪費了裝配時間。
（2 ）微裝配中使用的裝配機械手必須按零件鼓高的裝配精
度來設計，例如，一個微系統有十個零件，其中，九個零件的裝
配精度低于1 微米，另一個零件的裝配精度為0.01微米，則機械
手末端執行器的定位精度必須小于0.01微米。這樣就大大增加了
機械手的設計成木。同樣，對于不同形狀的零件，也需要更換末
端執行器，降低了裝配效率。
（3 ）同樣，視覺系統的放大倍數，放置裝配子系統的運動
平臺都需要按較高精度來配置。
（4 ）集中式裝配系統由于結構復雜，并不能將問題分解、
簡化，從而較終解決。正好相反，它將許多問題集中在一起，形
成更加復雜的問題。
要使微機電產品實用化，首要的問題是降低成本、提高效率、
能進行批量生產和基于集成電路工藝的微機電產品生產一樣）。
所以必須降低微裝配系統的成本，提高裝配效率，使得微裝配系
統標準化、模塊化和通用化，而不是針對不同的微產品設計不同
的裝配系統。
