帶CCD工業攝像立體顯微鏡-微小元件裝配儀

    微器件的尺寸效應給微裝配與微操作帶來了很大的困難，為
了克服這些困難，微裝配與微操作一般采用顯微視覺對操作機械
手進行閉環控制，機械手的末端執行器上裝有微力傳感器構成力
的反饋。

    在待裝配器件沒有接觸時，利用視覺進行引導，而當器件接
觸時，采用力反饋控制精密裝配。由于微器件所受力的性質還不
清楚，采用自動化裝配還很困難，

    所以現有的微裝配與微操作系統都采用交互裝配與操作方法。

    這些微裝配系統的固有缺陷，限制了微裝配系統在實際生產
中的應用，增加了微產品的成本。

    要使微產品的成本降低，減小微系統的裝配成本是一個重要
的方面，傳統制造業的經驗表明，采用自動化、流水線微裝配應
該是一個可行的方法。

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