微機械可以達高精度,自動化微裝配工具顯微鏡
微操作機械手是微裝配與微操作系統中的核心設備，除手工
裝配與操作外，交互微裝配和自動化微裝配都需要機械手參與。
由于微器件的尺寸很小，它的裝配精度要求非常高，通常是
亞微米或納米級的，這就要求機械手要有高的精度。為了達到高
的精度，
一般機械手自由度為三個，如需更多的自由度，一般由操作
平臺提供�，F有的微操作機械手可以分為兩類：一類使用傳統的
方法設計，利用電機驅動，滾珠絲桿和齒輪傳動：另一類使用特
殊的傳動方式，如壓電陶瓷驅動。傳統設計的微操作機械手工作
空間大，但精度低，必須采用補償的方法提高精度。而采用壓電
陶瓷驅動，可以達到高的精度，但工作空間小
對微操作機械手進行控制。第二種為自動控制模式，由傳感
器的反饋完成機械手的控制，從而獲得較快的裝配速度。對于復
雜的裝配過程，一般由操作者控制機械手運動，
而對于簡單的任務，一般由機械手自動完成，例如，對于將
軸插入孔中的任務，必須由操作者控制完成，而對于機械手的視
覺跟蹤，可由機械手根據控制算法自動完成。
對于高精度的裝配任務，使用壓電陶瓷驅動的微操作機械手
更加合理，與傳統的微操作機械手相比，這種驅動的機械手不僅
位置精度高，控制也比較簡單，惟一的缺點是運動范圍小。一種
解決方法是將機械手設計成可移動的、高精度的微裝配機器人。
