生產高質量的電子顯微鏡，須作非常精確的設計
顯微鏡較重要的特性是其分辨能力。分辨能力的定義是，顯
微鏡能提供清晰客的兩點間的較小距離，這些象雖有部分重疊，
但在充分大的放大率下仍能辨明而確定無疑。對于光學顯微鏡，
顯微鏡放大率可表示為物鏡放大率與目鏡放大率的乘積。但是，
放大能力應與物鏡的分辨能力相適應。不論目鏡放大率多大，只要
兩個相鄰點已預先用物鏡在中間象中分辨出來，它就能加以分辨。
同光學顯微鏡一樣，聚光透鏡使電子束集中射到試樣上。由于
其結構上的原因，試樣(應該很薄)使電子柬得到調制。此外，
物鏡產生放大約100---300倍的初象。較后，一部分中間象被投影
透鏡放大在熒光屏或照相片上。在各個透鏡前面，都有限制射束
立體角的光闌．電子從燈絲到熒光屏的整個軌跡和試樣都在真空中，
以消除電子衰減和散射。試樣照明隨光闌和通
過聚光透鏡的電流而改變，而放大率則隨通過物鏡和投影透鏡的
電流而改變．
為了生產高質量的電子顯微鏡，必須作非常精確的設計。例
如，進行顯微鏡豎筒的機械設計時所需的精度是，在大于lm的
長度內，各種子組件的同心度應能達到幾十微米。另一個重要的
要求是電參數的穩定性，因為終象是用照相的方法得到的。雖然
顯微鏡的瞬時工作性能可能很高，但曝光時象的位置或大小的任
何變化都會降低質量。
透射電子顯微鏡的一個特性是電子束的穿透本領低，因而用
它來研究表面時已產生了問題．為了克服這種缺點，要用表面復
制模。引用這種中間工序，具有下面幾個缺點
(a)由于其厚度小會引起脆化，復制模必須支承在柵極止。
這意味著這種復制模部分地被不透明的柵條所屏蔽；
(b)制造復制模時用到的多道工序會改變其分辨能力；
(c)不管制造復制模時多么仔細，這層膜再現表面細節的
