光學元件超顯微硬度測試技術的應用-膜厚度測量
超顯微硬度測試對評價光學膜薄的材料特性如硬度和斷裂強度
具有實用價值的儀器。由于測試結果在很大程度上取決于所選擇
的實驗參數，用微處理機使這種測試儀自動化，用以控制負載增
大速率，負載時間以及調節刻劃器等，已證明有效，這種超顯微
硬度的結果取決于穿透隙薄朦膜厚度的比例，即一定不可超過0.
2，以免影響基底的硬度。
如刻蝕不清晰，則對超顯微硬度的解釋較難，使用維克斯公司
的刻劃器對在軟的塑料基底上鍍有硬的膜，�？赡墚a生這種不清
晰的情況，對這種試樣，似乎使用諾柏公司的刻劃器較有益處，
能打出更清晰的刻痕。
一般說來，大多數紅外涂層材料稍軟于可見光波長的介質涂層
材料，當清洗這些表面時，必須注意以防止損傷，而本實驗的結
果表明，一次清洗所引起的劃痕是不多的，或者不影響其性能，
當一個新的光學元件裝入系統中時，必須用干凈的干燥氮氣，或
過濾過的，無碳氫化合物的壓縮空氣噴吹，以卻灰塵，用過的光
學元件常常需要作更多的物理情況。
相平輻射公司光學分部制作的全反射鏡是使用有保護膜的銀膜
，或者是增加反射率的銀膜，有保護的銀膜是這二種較軟件 一
種，清潔技術建議用“滴及拖”法，這是以一或二滴適當的溶劑
，如試劑級的丙酮或甲醇，滴在清潔的擦鏡紙上，并且沿著一定
方向“拖擦”其下面的光學元件，這種膜層，如果在清潔時壓得
重些，將很容易擦傷。
增加反射率的銀膜，外面一層為硫化鋅，它是很耐用的，內高
腔反射鏡用這種膜層反射率大于99.5%，它們經得起溶劑，柔軟
的擦鏡紙以及中等的手的壓力反復清潔，部分反射鏡以及增透膜
，均有硬的介質膜層，它們可以用類似的方法清洗。
