表面微形狀輪廓儀簡介-粗糙度輪廓儀制造廠商
表面微凸體的形狀
任何觸針(輪廓儀)法和大多數剖切法都是故意把垂直
標尺放大。結果是，經過磨削或拋光的表面看起來好象是阿
爾卑斯山或喜馬拉雅山的地形。如果我們把這些表面輪廓如
實地恢復到它們的真實形狀，我們將發現這些表面微凸體要
平緩得多，而任何高峰或低谷的平斜度不會大于幾度，也許
不大于5 00這也適用于用粗銼刀銼成的那些粗糙表面，‘即溝
槽較深．但平均斜度仍舊只有幾度。
當然也有一種明顯的例外情況。對于經過仔細退火的晶
體材料試件，各個晶粒會以原狀伸出到外層表面。這時，晶
粒面會與表面成一很大的角度。例如，對于具有立方晶格結
構的固體，會出現與總平面成90°的階梯。對于經過磨削或
拋光以及電拋光的表面，不會發生上述情況，但也許頂上二、
三個原子是例外。微觀幾何結構與原子結構不同，它的斜度
比較平緩。把表面說成是像起伏的丘陵，而不是山峰更為確
切(這樣也許不太逼真)。
有～種經過改進的反射法。其中細的電子錐按非常密集
的折線對表面進行掃描(在電視業的術語中，稱這種掃描圖
為“光柵”)。試件所散射出的電子可用集電柵聚集起來，以
便用來調節電視顯象管中光束的亮度；這種對電視屏幕進行
掃描的光束與對試件進行掃描的電子束同步
。這種方法稱為顯微探針法或體視掃描法，雖然它的分
辨率不及其他的電子顯微鏡測量法，但所得到的圖肜是非凡
的三維圖
