精密機器零件的粗糙度和形狀光測顯微鏡的應用原理
光測法
如果我們用一光學顯微鏡觀測表面，我們將無法分辨寬
度小于1000埃左右的細節。雖然我們呵以把得到的圖形大大
放大，但是決不能從該圖形獲得小于上述數值的細節。這就
是所謂顯微鏡的“分辨率”，這種限制是因光波太長而造成的。
如果我們觀測按角度a=6°剖切的推拔截面上的表面輪廓，
就可以放寬這種限制。如上面所指出，顯微鏡本身對表面形
狀的分辨率只能低于1000埃。但是因為推拔截匝本身可把表
面不平度的高度放大到十倍，這就意味著我們所能分辨的表
面粗糙度的實際高度大約只有200埃。
關于研究表面粗糙度的高度還有一種特殊方法無需特地
剖切截面。
表面可用所謂光干涉原理直接進行觀察。
它能分辨小到50埃的高度差。干涉顯微鏡通常可用來研究
精密機器零件的粗糙度和形狀。
電子顯微鏡
電子顯微鏡在某些方面類似光學顯微鏡，只是以電子束
代替光源而以靜電透鏡或磁透鏡代替光學透鏡。
電子能通常是50000～100000伏。電子束可以穿透待測試件，
而發射出來的電子可以聚集在熒光屏或照相片上形成圖象。
這就是所謂透射電子顯微術。由于電子不能穿透很厚的材料，
所以透射法只能用于很薄的試件。有時可從試件上剝下一層
薄的表面膜而用上述方法進行觀測。常用的一種方法是用塑
料(例如聚醋酸甲基乙烯脂)制成一層薄的表面復制品，而
用電子束透射法觀測這個復制品。采取了適當措施后．可以
達到5埃左右的分辨率，因而幾乎可以看到單個原子。
另一種不做復制品的表面觀測法，是使電子束傾側，以
致它在掠入射的情況下射向試件，然后用一般
方法使散射電子聚焦。這就是所謂反射電子顯微術。得到的
圖象能顯示表面不平度，這有點像一個行人在駛近的汽車的
前燈照射下看到路面上的表面不平度。投射的陰影很長，但
因視角很低，這些陰影已按透視法縮短。
