實驗用測量工件表面粗糙度和幾何圖形測量顯微鏡
.測量工件表面粗糙度和幾何圖形方法的適用性正在研究中,對于簡單的表面已得到了和機械法側全相一致的結果.
下一步是要修正由更復雜表面所得到的結果,如車削、磨創和研磨的表面粗糙度.完成了這一點,儀器公程便從現在的10μm擴展到1mm或更大,這將極大地提高它的使用性能。
顯微鏡還存在由于儀器目前的結構所強加的某些限制,例如它不能用于測量小孔且需移動工件。未來的工作計劃是探索更合理的結構以克服這種限創,例如用激光束掃描工件表面。
與機械式儀器相比,離子激光裝叉的價值較高.使其受到進一步的限制,但這究競只是一方面的觀點,在那些用接觸法不合適的場合,這種類型的儀器將會有很多用途。同時還可用于標準實驗室代替機械式儀器。
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