通常自動化光電測量顯微鏡精度為0.1-1μm左右

    使用刻度尺測量，首先必須知道刻度的中心位置，其次，
必須知道自刻度中心算起的刻度小數部份.為了能精確地知
道刻度的中心位置，就必須用光電顯微鏡。

    近來，刻度尺的刻線是用高精度的刻線法刻制成的。這
種高精度的刻線法，有光波干涉法，在后面敘述。在主動測量
中，使用刻度尺較少，這是因為它的指示測量精度還不理想。

    由人來測量刻線的中心位置時，可使用一般的顯微鏡。
為了實現自動化，必須使用光電顯微鏡。通常，前者的精度為
1μm，后者為0.1μm。使用光電顯微鏡可以減少人為的誤差。

    在一般的情況下，光電顯微鏡的狹縫，靜止地、自動地對
刻線中心是困難的。例如狹縫T相對于光軸(圖中照明系統
為水平軸)垂直對稱地振動。由于T的振動，光線照明刻度尺
并在刻線左右掃描。如果刻線位于顯微鏡的光軸上，則掃描相
對于刻線左右對稱，因此光電管的輸出波形為等間隔的。

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