聚焦型激光顯微鏡-顯微測量儀器制造廠商
用激光光點檢測位置的方法稱光觸針法。它是用光點代替與被測件接觸的觸針尖。此方法的優點是不接觸工件就可以進行測量,這是因為使用了聚光性好、亮度大的激光。所以,光觸針法在坐標測量中具有很高的使用價值。
用一般透鏡把激光聚集成象,稱為聚焦型激光顯微鏡,測量對象主要是物體的位置和形狀。此處介紹其中一部分,其余部分在光電顯微鏡中介紹。
根據被測量位置上入射光束和反射光束的關系,把光點檢測位置分為兩類:一類是入射光軸和反射光軸同軸,另一類是兩光軸有一定傾角。
(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.xjwdx.com)