傾斜光軸的顯微鏡可用顯微測角儀來測定-工具型

    工具顯微鏡的載物臺在x-Y平面上和垂直位置上都由精密測
微器調節

并用標度盤指示器來控制使它便于測星表面特征之間的距離.
在研究非常小的晶體時，不同的裸露平面之間的角度可以

用備有校正過的旋轉載物臺和校正過的可傾斜光軸的顯微鏡
(顯微測角儀)來測定.使光源和顯微鏡對觀察面都傾斜成45°
角時，便構成一臺能夠測量臺階高度的光截面顯微鏡.

它雖不具有如顯微干涉儀那樣精細的分辨能力，但是對產品
測量卻更實用.

另外還有依賴于附加現象的其它光學裝置，這些裝置也是用
來檢驗半導體材料和器件的，例如相襯、干涉襯度和起偏振
鏡等.

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